2003年3月19日　東京高等裁判所　判決

NF3による反応室クリーニング特許

結果　—向き―

あらまし	半導体の研究会社は、膜をつくる装置の反応室を、三フッ化窒素（NF3）というガスを使ったプラズマエッチングで掃除する方法について特許を持っていた。この特許に対して異議の申立てがあり、特許庁は特許を取り消す決定をした。研究会社は、この取消しの決定をなかったことにするよう求めて裁判を起こした。
それまでの判断	特許庁は2001年11月19日、研究会社が出した特許の書類の訂正は認めた。そのうえで、この発明は以前に出ていた複数の文献をもとにすれば専門家が簡単に思いつけたものだとして、2つの請求項すべての特許を取り消した。
判断	研究会社の請求を退けた。特許を取り消した特許庁の決定は正しいとした。出願当時、反応室の外でつくったガスを送り込むエッチングも「プラズマエッチング」に含まれると考えられていた。CF4に代えてNF3を使うことも簡単に思いつけたとした。複数の反応室を1つの共通の部屋につなぐことや、膜をつくっていない反応室を掃除することも、専門家が当然選ぶ手順で、特別な効果もないとした。

あらまし

半導体の研究会社は、膜をつくる装置の反応室を、三フッ化窒素（NF3）というガスを使ったプラズマエッチングで掃除する方法について特許を持っていた。この特許に対して異議の申立てがあり、特許庁は特許を取り消す決定をした。研究会社は、この取消しの決定をなかったことにするよう求めて裁判を起こした。

それまでの判断

特許庁は2001年11月19日、研究会社が出した特許の書類の訂正は認めた。そのうえで、この発明は以前に出ていた複数の文献をもとにすれば専門家が簡単に思いつけたものだとして、2つの請求項すべての特許を取り消した。

判断

研究会社の請求を退けた。特許を取り消した特許庁の決定は正しいとした。

出願当時、反応室の外でつくったガスを送り込むエッチングも「プラズマエッチング」に含まれると考えられていた。CF4に代えてNF3を使うことも簡単に思いつけたとした。

複数の反応室を1つの共通の部屋につなぐことや、膜をつくっていない反応室を掃除することも、専門家が当然選ぶ手順で、特別な効果もないとした。

裁判の流れ

段階	裁判所	日付	種類	結果	判決文
高裁	東京高等裁判所平成13年（行ケ）第585号 2003.03.19—　この判決	2003.03.19	―	—	この判決

判決文が公開されていないものは、分かっていることだけを載せています。

3人

名前	立場	向き	個別意見・役割
篠原勝美	賛成	―	裁判長
長沢幸男	賛成	―
宮坂昌利	賛成	―

判決のデータは裁判所ウェブサイトの裁判例検索などから集めています。傾向の色は、これまでの判決をもとにした目安です。

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