2007年11月22日 知的財産高等裁判所 判決
複数ビームのレーザによるウエファ分割の特許
結果 請求棄却向き―
| あらまし | オランダの会社が、半導体のウエファ（薄い板）にレーザを複数のビームに分けて当て、同じ線の上を順に通して溝を彫り、素子を切り分ける方法について特許を出願した。この方法は、ビームとビームの間に、蒸発した材料が消えるのに十分な時間をあけるのが特徴だった。特許庁は特許を認めず、不服の審判でも認められなかったため、会社はその審決の取消しを求めた。 |
|---|---|
| それまでの判断 | 特許庁は、4つのビームで溝を彫る以前の考案に、よく使われる種類のパルスレーザ（1〜50kHz）を組み合わせれば、ビームの間に十分な時間があくことになるので、専門家なら簡単に思いつける発明だとして、審判の請求を退けた。 |
| 判断 | 裁判所は会社の請求を退け、特許を認めなかった特許庁の判断を支持した。 一続きの溝を彫るにはウエファを動かす速さに限りがあるため、ビーム間の時間はパルスの周期より十分長くなり、必ず20μs以上になると判断した。 蒸発したガスがレーザを妨げる問題は以前から広く知られており、主張された効果も予測できる程度で特別なものではないとした。 |
- 裁判年月日
- 2007年11月22日
- 裁判所
- 知的財産高等裁判所
- 種類
- ―
- 事件番号
- 平成18年（行ケ）第10524号
- 事件名
- 審決取消請求事件
- 結果
- 請求棄却
- 向き
- ―
- 原文
- 裁判所ウェブサイト
裁判の流れ
| 段階 | 裁判所 |
|---|---|
| 高裁 | 知的財産高等裁判所 平成18年（行ケ）第10524号 2007.11.22請求棄却 この判決 |
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