2020年3月19日 知的財産高等裁判所 判決
半導体基板の保持装置の特許と進歩性
結果 請求棄却向き―
| あらまし | 半導体製造装置の会社が、プラズマ処理のときに半導体の基板（ウエハ）を台の上に固定する「基板保持装置」の特許を出願した。この装置では、台の穴からガスを吸い込んで、反ったウエハを台に密着させる。そのうえで、バルブを切り替えて同じ穴から冷却用のガスを送り込む。特許庁は特許を認めず、会社はその判断（審決）を取り消すよう求めて裁判を起こした。 |
|---|---|
| それまでの判断 | 特許庁の審決は、この発明は先に公開された2つの文献の技術を組み合わせれば簡単に思いつけたとした。そのため、出願中に行った内容の修正を認めず、修正前の発明も特許を受けられないと判断した。 |
| 判断 | 会社の請求を退けた。特許庁の審決に誤りはなく、この発明は簡単に思いつけたもので特許は受けられないと判断した。 製造の工程でウエハが反り、静電気での固定が不安定になることは専門家の常識だった。そのため、2つの文献の技術を組み合わせる動機があったとした。 1つ目の文献の装置でも、ピンが通る穴からガスを出し入れできる。この穴で吸い込みを行うよう作り変えることにも支障はないとした。 |
- 裁判年月日
- 2020年3月19日
- 裁判所
- 知的財産高等裁判所
- 種類
- ―
- 事件番号
- 令和1年（行ケ）第10113号
- 事件名
- 審決取消請求事件
- 結果
- 請求棄却
- 向き
- ―
- 原文
- 裁判所ウェブサイト
裁判の流れ
| 段階 | 裁判所 |
|---|---|
| 高裁 | 知的財産高等裁判所 令和1年（行ケ）第10113号 2020.03.19請求棄却 この判決 |
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この判決をした裁判官
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