2003年11月13日 東京高等裁判所 判決
エキシマレーザー用ペリクルの特許取消
結果 —向き―
| あらまし | 電線メーカーの古河電気工業は、半導体の回路を焼き付けるときにマスクにゴミが付かないよう覆う薄い膜（ペリクル）について特許を持っていた。この特許は、主鎖に環の構造を持つ特殊なフッ素樹脂の膜で作り、波長300nm以下のエキシマレーザーによる露光に使うものだった。他社などから異議が申し立てられ、特許庁が特許を取り消したため、メーカーはこの取消しをやめるよう求めて裁判を起こした。 |
|---|---|
| それまでの判断 | 特許庁は2001年2月5日、この発明は以前に公表された文献をもとに専門家が簡単に思いつけるものであり、また先に出願された別の発明とも同じだとして、特許を取り消す決定をした。 |
| 判断 | メーカーの請求を退けた。先行する文献から、専門家ならこの発明を簡単に思いつけたので、特許を取り消した特許庁の判断は正しいとした。 紫外線をよく通して劣化しない樹脂「サイトップ」が知られていたので、これをエキシマレーザー用のペリクルに使って試すことは、専門家ならごく自然に考えると判断した。 レーザーへの耐久性が高いという効果は、実験すればすぐ分かることだ。予測や発見が難しい特別な効果とはいえないとした。 |
- 裁判年月日
- 2003年11月13日
- 裁判所
- 東京高等裁判所
- 種類
- ―
- 事件番号
- 平成13年（行ケ）第136号
- 結果
- —
- 向き
- ―
- 原文
- 裁判所ウェブサイト
裁判の流れ
| 段階 | 裁判所 |
|---|---|
| 高裁 | 東京高等裁判所 平成13年（行ケ）第136号 2003.11.13— この判決 |
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この判決をした裁判官
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