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2021年8月10日 東京地方裁判所 判決

半導体ウェハのレーザ加工装置の特許侵害

結果 —向き―

あらまし光学機器メーカーの浜松ホトニクスは、シリコンウェハの内部にレーザで切断の起点となる「改質領域」をつくる加工装置について、2つの特許を持っていた。半導体製造装置メーカーの東京精密が売るレーザダイシング装置(ML300シリーズ・ML200シリーズ)がこれらの特許を侵害しているとして、浜松ホトニクスは製造・販売・輸出などの差止めと、製品の廃棄を求めた。東京精密は、自社製品はウェハを溶かしておらず特許の範囲に入らない、特許は無効だ、使用の許可を受けていた、などと反論した。
判断

「改質領域」は「多光子吸収」という現象でできたものに限られないと解釈した。そのうえで、東京精密の装置は2つの特許の範囲に入ると認めた。

先行する文献にもとづく無効の主張や、記載の不備などの無効の主張は、すべて退けた。両社の間で特許の使用許可の契約が成立していたとも認めなかった。

装置の製造・使用・譲渡・輸出などの差止めと、製品の廃棄を命じた。東京精密が2億5000万円の担保を出せば、判決確定前の強制執行を止められるとした。

裁判年月日
2021年8月10日
裁判所
東京地方裁判所
種類
―
事件番号
平成30年(ワ)第28929号
事件名
特許権侵害差止請求事件
結果
—
向き
―
原文
裁判所ウェブサイト

裁判の流れ

段階裁判所日付種類結果判決文
地裁東京地方裁判所

平成30年(ワ)第28929号

2021.08.10— この判決
2021.08.10―—この判決

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この判決をした裁判官

3人
傾向名前立場向き個別意見・役割
國分 隆文賛成―裁判長
小川 暁賛成―
矢野 紀夫賛成―

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