2010年12月28日 知的財産高等裁判所 判決
半導体ウエハ研磨の終点検出特許
結果 請求棄却向き―
| あらまし | アプライドマテリアルズは、半導体ウエハを研磨するときに、研磨パッドの窓を通して光を当て、その反射から研磨の進み具合や終わりの時点を見る装置と方法について特許を持っていた。東京精密は、この特許を無効にするよう特許庁に求めた。特許庁は一部の請求項を無効にしたが、残りの請求項については無効にしなかった。東京精密は、無効にしなかった部分の取り消しを求めて裁判を起こした。 |
|---|---|
| それまでの判断 | 特許庁は、52ある請求項のうち一部を無効とした。残りの請求項2〜8、10〜17、21〜23、26、33〜38、41、47、50については、明細書の書き方に問題はなく、先に知られていた文献（甲1〜甲5）から簡単に思いつけたともいえないとして、無効の請求を退けた。 |
| 判断 | 「光」「レーザー干渉計」「信号」「フィルタ」などの言葉は明細書と技術常識から意味が分かり、実施もできるので、記載に不備はないとした。 円弧形の窓や、ウエハが窓に近づいたことを感知するセンサなどは甲1〜甲5に書かれても示されてもおらず、簡単に思いつけたとはいえないとした。 審判で出していない文献に基づく主張は審理の対象外とし、審査の途中の見解にも拘束されないとして、請求を棄却した。 |
- 裁判年月日
- 2010年12月28日
- 裁判所
- 知的財産高等裁判所
- 種類
- ―
- 事件番号
- 平成21年（行ケ）第10370号
- 事件名
- 審決取消請求事件
- 結果
- 請求棄却
- 向き
- ―
- 原文
- 裁判所ウェブサイト
裁判の流れ
| 段階 | 裁判所 |
|---|---|
| 高裁 | 知的財産高等裁判所 平成21年（行ケ）第10370号 2010.12.28請求棄却 この判決 |
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